一种有毒气体报警器,它是由实验室中的环境废气洗涤器破裂引起的。当没有人在实验室的时候。
    有毒气体报警是由少量硅烷气体逸出触发,立即燃烧并接触空气。房间里的警报被触发了,并没有显示出有毒的水平,因为硅烷烧坏了。
    在五楼附近实验室工作的学生们说,他们从玻璃窗口听到了化学蒸气室的“砰”声。他们看到白色的烟雾,立即引起火警,并在两个小时后退出。

    有毒气体报警器的火灾部分反应迅速,但没有人能进入房间约两个小时,监测环境,然后用硅烷灯点火,表明硅烷含量约为0.15 ppm。实验室主任说,百万分之五被认为是安全的水平,但是他们经常离开实验室而忽略低浓度的测试,因为在正常情况下,低浓度的气体在实验室里是不被检查的。
    根据有毒气体报警器,实验室的活动主要集中在目前对电子数据的限制上,特别是在点数据等数据的生成、线路和表面的缺陷上。
    化学气相沉积实验室使用硅烷的硅衬底在硅基半导体层上沉积4英寸的晶片。这些信息用于制造电子设备,例如用于网络交换机和其他目的的电子设备。