扩散式与泵吸式臭氧检测仪的检测原理基本一样，通过仪器的传感器对所要检测的气体进行检测，然后通过电路放大整理转换成对应的数值显示在屏幕上。
扩散式与泵吸式区别在于取样方式不同：
        扩散式臭氧检测仪是被检测区域的臭氧气体随着空气的自由流动缓慢的将样气流入仪表进行检测，需放置在现场。这种方式受检测环境的影响，如环境温度、湿度、压强、风速等，不适合于压力较低的气源。扩散式臭氧检测仪的优点是成本比泵吸式低。
        泵吸式臭氧检测仪是仪器配置了一个微型抽气泵，其工作方式是电源带动微型气泵对待测区域的气体进行抽气采样，然后将样气送入仪表进行检测。泵吸式气体检测仪的特点是检测速度快，对危险的区域（高浓度臭氧区域）可进行远距离测量，维护现场操作人员的安全。适合于臭氧检测仪不能放置的现场以及对反应速度、压差等有特殊要求的场合。
        微型真空泵是泵吸式气体检测仪重要的运转部件，直接关系到仪器的寿命和可靠性。泵吸式臭氧检测仪一般选用小型、微型体积的气泵。设计时根据流量、压力、功率与样品隔离、无泄漏、轻巧、低噪音、电磁兼容性、寿命等要求选用气泵。目前国内的低端微型泵生产厂家很多，低端市场几乎被国货占领。而高端微型泵则由进口KNF、Thamos、GAST品牌一统天下。
        从技术经济上讲，臭氧检测仪的各部分元件寿命最好能匹配。电化学特定气体传感器的寿命一般是三年至五年。电化学传感器的寿命取决于其中电解液的干涸，所以如果长时间不用，将其密封放在较低温度的环境中可以延长一定的使用寿命。固定式仪器于体积相对较大，传感器的寿命也较长一些。这里特别提醒一些拥有使用臭氧检测仪的企事业单位或者学校实验研究室，切记切记哦。